Beschreibung
1).Angenommen, um die "Farblinsen" -Technologie zu eliminieren, um sicherzustellen, dass während des langfristigen Prozesses keine "Coloe-Linsen" vorhanden sind.
2).Hergestellt aus dem von SGL importierten Graphitmaterial mit hoher Reinheit, geringem Gehalt an Verunreinigungen und hoher Festigkeit.
3).Verwendung von 99,9 % Keramik für die Keramikbaugruppe mit starker Korrosionsbeständigkeit und Brustfestigkeit.
4).Verwendung der Präzisionsverarbeitungsgeräte, um die Genauigkeit der einzelnen Teile sicherzustellen.
Spezifikation
Artikel | Art | Nummernwaferträger |
PEVCD-Graphitboot --- Die 156er Serie |
156-13 Graphitboot | 144 |
156-19 Graphitboot | 216 | |
156-21 Graphitboot | 240 | |
156-23 Graphitboot | 308 | |
PEVCD-Graphitboot --- Die 125er Serie |
125-15 Graphitboot | 196 |
125-19 Graphitboot | 252 | |
125-21 Graphitboot | 280 |
FAQ
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